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FS-Pro 半导体参数测试系统PX600 IV、CV、1/f噪声测试
产品简介
FS-Pro 半导体参数测试系统是一款功能、配置灵活的半导 体器件电学特性分析设备，在一个系统中实现了电流电压 (IV) 测试、电容电压 (CV) 测试、脉冲式 IV 测试、任意线性波形发 生与测量、高速时域信号釆集以及低频噪声测试能力。几乎所 有半导体器件的低频特性表征都可以在 FS-Pro 测试系统中完 成。其而强大的参数测试分析能力地加速了半导体器 件与工艺的研发和评估进程，并可无缝的与概伦 9812 系列噪 声测试系统集成，其快速 DC 测试能力进一步提升了 9812 系列 产品的噪声测试效率。 FS-Pro 釆用工业通用的 PXI 模块化硬件架构，系统扩展性强， 还可支持多通道并行测试，进一步提升测试效率。系统内置专 业测试软件 LabExpress 为用户提供了丰富的测试预设和强大 的测试功能，可实现非常友好的用户即插即用体验。 FS-Pro 可广泛应用于各种半导体器件、LED 材料、二维材料器 件、金属材料、新型材料与器件测试等。 基于在产线测试与科研应用方面的优异表现，FS-Pro 不仅被众 多芯片设计公司和代工厂、IDM 公司釆用，其的测试能力 更在科研学术界受到了广泛关注和认可，目前已被数十所国内 外高校及科学研究机构所选用。
产品优势
应用范围：
被半导体工业界和众多大学及科研机构釆用作为标准测试仪器
集成功能：
高速高精度 IV/CV 测试能力
脉冲式 IV 测试能力
任意线性波形发生与测量能力
高速时域信号釆集能力
与 9812 对准的低频噪声测试能力
使用方式：
通过内置软件 LabExpress 的丰富功能实现测试
操作简单灵活，无需编程即可实现自由的波形发生或电压同步与跟随
系统架构：
PXI标准机箱，可扩展架构,支持通过多机箱扩展SMU卡数量
支持并行测试：
内置功能强大的测试算法
支持多通道并行测试
成倍提升测试效率
硬件规格
宽量程：200V 电压，1A 直流电流
高精度：30fA 精度，0.1fA 灵敏度
噪声测试带宽：高精度 100kHz，超低频 40Hz
噪声测试速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 频率分辨率）
内置脉冲测试：200V 电压，3A 脉冲电流， 50us 脉宽
内置 CV测试：200V/10kHz，可测至 100fF
外置 CV 测试模块：40V/2MHz（高精度型）
40V/5MHz（高带宽型）
高速时域信号采集：采样时间小于 1us，10 万点数据
噪声测试阻抗：500Ω
噪声测试频率分辨率：高速高精度模式下 0.1Hz，超低频模式下 0.001Hz
噪声测试分辨能力： 2e-28A2 /Hz
高精度快速波形发生与测量套件 ： 2 通道，SMA 接口
快速 IV 测试：±10V 电压， 10mA 电流
SMU 直通：±25V 电压输入， 100mA 电流
100MSa/s 采样率，推荐脉冲宽度可达 130ns
软件功能
FS-Pro 系列内置 Lab Express 测量软件具有强大的测试和分 析功能，该软件提供友好的图形化用户使用界面和灵活的设 定，具有下列主要功能：
- 完整支持直流、脉冲、瞬态、电容、噪声测试、任意波形发生与测量功能
- 内置的常见器件测试预设可大大提高测试设置效率，帮助新手操作者快速完成测试
- 强大的自定义设定功能可以灵活编辑电信号
- 内置强大数据处理能力可测试后直接展幵器件特性分析多种数据保存方式，导出数据可供用户后续分析研究也可直接导入建模软件 BSIMProPlus 和 MeQLab 进行模型提取和特性分析
- LabExpress 版支持对主流半自动探针台和矩阵幵关设备的控制，支持晶圆映射、并行测试实现自动测试功能， 进—步提升测试效率
产品应用
半导体器件电性测量
光电器件和微机械系统测试
新型材料与器件测试
半导体器件无损探伤与测试
半导体器件超低频噪声领域测试
半导体器件可靠性测试
半导体器件超短脉冲测试
应用实例
