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半导体参数分析仪+器
低泄漏开关矩阵系列
详细信息
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行业挑战
对半导体晶圆上的众多测试架构进行所有必要的参数测量，可能会耗费大量时间和成本。随着终用户设备的成本持续下降，甚至实验室表征环境也必须降低测试成本。时至，那些从事当前和未来半导体制程技术研发的工程师和科学家都面临着艰难的抉择：是使用在晶圆探头上包括定位器的半导体参数分析仪（这会限制执行自动测试的能力），还是使用开关矩阵和探头卡（这会降低分析仪的测量分辨率）。使用包含半自动或全自动晶圆探头的开关矩阵，则可以自动执行表征测试，在每次测试新模块时也无需操作人员手动复位探头。这样既可缩短测试时间，又可节省测试成本。由于是德开关矩阵解决方案包含诸多价位/性能的产品，您可以在不超出预算的情况下，灵活地选择到恰好满足测试需求的产品。
总结
灵活的开关矩阵选择，丝毫不会降低性能
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选择适合需求的测量分辨率
根据您的测试需求，在 1 fA 到 10 fA 电流测量分辨率之间进行选择，可以只购买具有必要测试功能的产品。开关矩阵可适应半导体参数分析仪的功能，不会出现可能由信号泄漏导致的测量性能损耗。 -
灵活的输入和输出配置
可用选件包括各种价格和性能的产品，例如用于非 Kelvin 测量的经济型测量解决方案，以及高达 4 SMU、可执行全套 Kelvin 测量的配置。此外通过该系列产品，您可以选择各种输出通道配置和板卡类型，以满足您的测量需求。B2200A、B2201A 和 E5250A（安装了 E5252A 卡）支持 x12、x24、x36 和 x48 输出配置。E5250A（安装了 E525 卡）支持 x24、x48、x72 和 x96 配置，并可结合多达 4 个主机以创建 384 通道解决方案。 -
的电容测量，不会出现失真
在测量电容时，电缆长度（包括矩阵中的路径）对测量结果有很大影响。是德开关矩阵具有电容测量补偿特性，可校正因矩阵内部路径长度产生的误差。与竞争解决方案不同，您可以使用开关矩阵进行的电容测量，并可以应用补偿参数消除失真。